三維輪廓儀可在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多項(xiàng)測(cè)試,并可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用需求改變產(chǎn)品組合??蓪?duì)樣品的同一區(qū)域進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè),模式切換可全自動(dòng)進(jìn)行。多種技術(shù)的融合,可以使不同的技術(shù)在同一臺(tái)測(cè)試儀上發(fā)揮各自的優(yōu)勢(shì)。這種集成技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,還可以降低維護(hù)成本,提高效率。
三維輪廓儀可以在同一個(gè)測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多個(gè)測(cè)試,單擊按鈕可以更改成像模式。這種組合可以輕松對(duì)任何表面成像,如透明、平面、暗色、平面、曲面等。每種成像方式各有優(yōu)勢(shì),各種技術(shù)相得益彰。這種集成技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,還可以降低維護(hù)成本,提高效率。
1、一體化操作的測(cè)量分析軟件,無需切換界面。配置參數(shù)是在測(cè)量前預(yù)先設(shè)置好的。軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。
2、測(cè)量中提供自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能、批量測(cè)量、自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)??亮度調(diào)節(jié)等自動(dòng)功能。
3、測(cè)量中提供熔接測(cè)量功能。
4、在分析中,我們提供了調(diào)整位置、校正、過濾和提取四個(gè)模塊的數(shù)據(jù)處理功能。調(diào)整位置包括圖像整平、鏡像等功能。校正包括空間濾波、修整、峰值去噪等功能;過濾包括去形、標(biāo)準(zhǔn)過濾、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和截面的功能。
5、分析提供五種分析功能:粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析和功能分析。粗糙度分析包含符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的線粗糙度、表面粗糙度、平面度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺(tái)階高度、距離、角度、曲率等特征的測(cè)量,以及直線度、圓度和形位公差的評(píng)價(jià);結(jié)構(gòu)分析包括孔體積、槽深等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析;函數(shù)分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)。
6、分析中提供一鍵分析、多文件分析等輔助分析功能。分析模板已設(shè)置。結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能,可以實(shí)現(xiàn)小型精密設(shè)備的批量測(cè)量和直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
在同一平臺(tái)上使用多種光學(xué)技術(shù),三維輪廓儀幾乎可以測(cè)量任何類型的納米分辨率樣品。表面輪廓儀配備功能強(qiáng)大的分析軟件,符合多種標(biāo)準(zhǔn)。雙模3D表面輪廓儀可在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多項(xiàng)測(cè)試,并可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用需求改變產(chǎn)品組合??蓪?duì)樣品的同一區(qū)域進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè),并可自動(dòng)進(jìn)行模式切換。多種技術(shù)的融合,可以使不同的技術(shù)在同一臺(tái)測(cè)試儀上發(fā)揮各自的優(yōu)勢(shì)。這種集成技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,還可以降低維護(hù)成本,提高效率。